TEM三維重構(gòu)技術(shù)是電子顯微術(shù)、電子衍射與計(jì)算機(jī)圖像處理相結(jié)合而形成的一種有效且高分辨率的三維重構(gòu)方法,用以表征材料三維空間結(jié)構(gòu)。TEM三維重構(gòu)的基本原理基于中心截面定理:任何實(shí)空間的三維物體沿電子束方向投影的傅立葉變換是該物體所對(duì)應(yīng)的傅立葉空間中通過中心且垂直于投影方向的一個(gè)截面,換言之,只要收集樣品在不同方向的投影或同一樣品在不同角度的投影,對(duì)每張投影圖進(jìn)行傅立葉變換,按照投影方向填充到三維傅里葉空間對(duì)應(yīng)的切面,再進(jìn)行反傅立葉變換,就可得到實(shí)空間的三維結(jié)構(gòu)。
TEM三維重構(gòu)樣品臺(tái)為實(shí)現(xiàn)樣品的三維重構(gòu)可視化而設(shè)計(jì)。通過一系列的不同傾斜角獲得樣品的二維成像信息,并對(duì)其進(jìn)行處理轉(zhuǎn)化為三維信息,該樣品臺(tái)可直接組裝直徑3 mm的銅網(wǎng)樣品,不僅可進(jìn)行樣品的三維重構(gòu),還可用于樣品材料的掃描透射模式下高角環(huán)形暗場成像(HAADF-STEM)的高分辨分析。
TEM三維重構(gòu)樣品臺(tái)的作用:
1、可進(jìn)行全角度360°圖像采集,避免鍥形信息丟失;
2、實(shí)現(xiàn)精密的樣品軸向旋轉(zhuǎn);
3、適合棒狀樣品或圓錐形樣品;
4、特別適合聚焦離子束(FIB)制備的樣品;
5、特別適合原子探針斷層掃描(APT)和場離子顯微鏡(FIM)的樣品;
6、兼容所有物鏡極靴;
7、中心對(duì)稱設(shè)計(jì),消除樣品桿傾斜過程中的重心偏移,減小層析成像過程穩(wěn)定樣品臺(tái)的所需時(shí)間。