掃描電鏡加熱原位系統(tǒng)將MEMS氣氛環(huán)境微腔和加熱模塊集成到掃描電鏡樣品臺上，在掃描電鏡中制造可控的環(huán)境并且可以對實驗樣品原位加熱?？蓪悠愤M行可控溫度的加熱，電學(xué)測量芯片可對樣品進行電性質(zhì)測量。并可在進行加熱和電學(xué)測量的同時，動態(tài)、高分辨地對樣品的晶體結(jié)構(gòu)、化學(xué)組分、元素價態(tài)進行綜合表征，極大拓展了透射電鏡的功能和應(yīng)用范圍。使用同一個SEM樣品臺既可以實現(xiàn)不同的原位解決方案電學(xué)、加熱等不同應(yīng)用。
本公司提供的CHIP-NOVA掃描電鏡加熱原位系統(tǒng)有優(yōu)異的熱學(xué)性能：
1.高精密紅外測溫校正，微米級高分辨熱場測量及校準(zhǔn)，確保溫度的準(zhǔn)確性。
2.四電極的超高頻控溫方式，排除導(dǎo)線和接觸電阻的影響，測量溫度和電學(xué)參數(shù)更精確。
3.采用高穩(wěn)定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料)，既是熱導(dǎo)材料又是熱敏材料，其電阻與溫度有良好的線性關(guān)系，加熱區(qū)覆蓋整個觀測區(qū)域，升溫降溫速度快，熱場穩(wěn)定且均勻，穩(wěn)定狀態(tài)下溫度波動±1℃。
4.采用閉合回路高頻動態(tài)控制和反饋環(huán)境溫度的控溫方式，高頻反饋控制消除誤差，控溫精度±1℃。
5.多級復(fù)合加熱MEMS芯片設(shè)計，控制加熱過程熱擴散，大大抑制升溫過程的熱漂移，確保實驗的高效觀察。
6.加熱絲外部由氮化硅包覆，不與樣品發(fā)生反應(yīng)，確保實驗的準(zhǔn)確性。
