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簡要描述:掃描電鏡高溫力學原位系統(tǒng)通過MEMS芯片在原位樣品臺內(nèi)構(gòu)建力、熱復(fù)合多場自動控制及反 饋測量系統(tǒng),結(jié)合EDS、EBSD等多種不同模式,實現(xiàn)從納米層面實 時、動態(tài)監(jiān)測樣品在真空環(huán)境下隨溫度、施加力變化產(chǎn)生的微觀結(jié)構(gòu) 演化、相變、元素價態(tài)、微觀應(yīng)力以及表/界面處的結(jié)構(gòu)和成分演化等 關(guān)鍵信息。
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1.高精度壓電陶瓷驅(qū)動,納米級別精度數(shù)字化精確定位。
2.實現(xiàn)1200℃加熱條件下壓縮、拉伸、彎曲等微觀力學性能測試。
3.nN級力學測量噪音。
4.具備連續(xù)的載荷-位移-時間數(shù)據(jù)實時自動收集功能。
5.具備恒定載荷、恒定位移、循環(huán)加載控制功能,適用于材料的蠕變特性、應(yīng)力松弛、疲勞性能研究。
優(yōu)異的熱學性能
1.高精密紅外測溫校正,微米級高分辨熱場測量及校準,確保溫度的準確性。
2.超高頻控溫方式,排除導(dǎo)線和接觸電阻的影響,測量溫度和電學參數(shù)更精確。
3.采用高穩(wěn)定性貴金屬加熱絲(非陶瓷材料),既是熱導(dǎo)材料又是熱敏材料,其電阻與溫度有良好的線性關(guān)系,加熱區(qū)覆蓋整個觀測區(qū)域,升溫降溫速度快,熱場穩(wěn)定且均勻,穩(wěn)定狀態(tài)下溫度波動≤±0.1℃。
4.采用閉合回路高頻動態(tài)控制和反饋環(huán)境溫度的控溫方式,高頻反饋控制消除誤差,控溫精度±0.01℃。
5.DUTE多級復(fù)合加熱MEMS芯片設(shè)計,控制加熱過程熱擴散,極大抑制升溫過程的熱漂移,確保實驗的高效觀察。
高效的智能化軟件
1.人機分離,軟件遠程控制納米探針運動和樣品載臺傾轉(zhuǎn),自動測量載荷-位移數(shù)據(jù)。
2.自定義程序升溫曲線。可定義10步以上升溫程序、恒溫時間等,同時可手動控制目標溫度及時間,在程序升溫過程中發(fā)現(xiàn)需要變溫及恒溫,可即時調(diào)整實驗方案,提升實驗效率。
3.內(nèi)置絕對溫標校準程序,每塊芯片每次控溫都能根據(jù)電阻值變化,重新進行曲線擬合和校正,確保測量溫度精確性,保證高溫實驗的重現(xiàn)性及可靠性。
類別 | 項目 | 參數(shù) |
基本參數(shù) | 臺體材質(zhì) | 高強度航空鋁合金 |
控制方式 | 高精度壓電陶瓷 | |
樣品載臺傾轉(zhuǎn)角 | 360°旋轉(zhuǎn)和±90°傾斜 | |
適用電鏡 | ZEISS、Thermo Fisher等主流電鏡 | |
EBSD/EDS | 支持 |
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